SILIOS Technologies（シリオス社）

SILIOS Technologies（シリオス社）はフランスに拠点を持ち、UV（紫外線）からIR（赤外線）までの広範囲なマイクロオプティックスの設計製造をしている会社です。

クロニクスは、SILIOS Technologies社のマルチスペクトルカメラCMSファミリを販売します。

適用技術

カラーシェイド

COLOR SHADES技術は、マルチスペクトルフィルタを製造する独自の製造技術です。
フィルタはいくつかのセルで構成され、それぞれのセルは所定の波長帯域をフィルタリングしています。 セルの数、そのサイズ、フィルタへの配置および編成、バンドの数およびそれらの中心波長が設定可能です。
1D/2Dのあるこのようなカラーシェードフィルタは、分光器/マルチスペクトルイメージャにつかわれます。
COLOR SHADES技術の主な利点は、フィルタとセルサイジングの柔軟性、センタリング波長の選択の柔軟性、および集合的な製造方法の使用によるフィルタコストです。

使用している材料

広いスペクトル（UV-Visible - IR）にわたって幅広いアプリケーションに対応するために処理される主な材料は次のとおりです。

• 溶融シリカSiO2
• シリコン
• ゲルマニューム
• 溶融シリカSiO2

UV（193nmまで）、可視およびIR（2ミクロンまで）の領域での用途, 溶融シリカは、このスペクトル範囲にわたって高透過性および低分散性を持っています。

シリコン

6~2ミクロンからIRドメイン内の任意のアプリケーションのため。特定のSi FZ（ゾーンフロート）はこのスペクトル内で改善された伝送特性を持っています。

ゲルマニューム

2〜14ミクロンのIRの範囲内のアプリケーション用。ゲルマニウムは、IR3バンド（8-14ミクロン）に特に重要です。

製造プロセス

製造プロセスは、いわゆる「累積エッチング・プリシプル(cumulative etching prinsiple)」に基づいています。
反復フォトリソグラフィーとエッチングステップを使用して階段プロファイルを階段状にします。
N個の累積ステップは、2N位相レベルプロファイルを生成することを可能にします。